● 超純水/注射水(UPW/WFI)供應(yīng)
采用EDI+多效蒸餾工藝,配備臭氧循環(huán)滅菌與紫外消毒模塊,符合USP<645>/EP 2.2.45標(biāo)準(zhǔn),適用生物制藥、半導(dǎo)體清洗等超純工藝需求。
● 高純度氣體供應(yīng)系統(tǒng)
配置PSA氮?dú)獍l(fā)生器與電解氫氣系統(tǒng),壓力范圍可調(diào)節(jié),流量穩(wěn)定;內(nèi)置脫氧催化劑與顆粒過(guò)濾器,滿足氫化反應(yīng)、惰性保護(hù)等嚴(yán)苛工況。
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